深圳先进电子材料国际创新研究院 “步进式投影曝光机”项目采购需求公示

深圳先进电子材料国际创新研究院拟对“步进式投影曝光机”项目进行采购,现将需求公示如下:

(一)项目基本信息

项目名称:步进式投影曝光机

是否接受进口设备:是

(二)采购需求概况

采购此设备用于光刻材料的验证,用于高效、制程化、标准化的制备微米级的光刻图案,制备RDL线路以及各种工艺线路。

采购内容和数量:光刻机主体系统一套,包括硅片自动传输模块,光学对准模块以及光学系统(配IGH光线);边缘曝光以及边缘保护系统一套;环境减震系统一套;主控计算机一台;控制软件一套。 

简要技术需求:1:分辨率1um; 2:可兼容8寸/12寸晶圆;3.自动光刻实验操作,4:兼容I,G,H线光源。

(三)公示期限(不少于三个工作日)

2020年11月13日至2020年11月18日

任何供应商、单位或者个人对公示内容有异议的,请在公示期内以书面形式将意见反馈至采购人、同级财政部门。

(四)采购单位联系方式

采购单位:深圳先进电子材料国际创新研究院

联系人: 姜老师

联系方式:0755-86392103


附件:【腾讯文档】供应商信息表https://docs.qq.com/sheet/DQVlMeW5WUmFzU3lO,请自行下载。